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光柵尺的精度可以達(dá)到非常高的水平,具體數(shù)值取決于光柵尺的設(shè)計(jì)、類型和應(yīng)用需求。以下是光柵尺精度的一些常見指標(biāo): 分辨率:這是光柵尺能夠檢測到的最小位移量。例如,封閉型絕對(duì)式光柵尺的最高分辨率可達(dá)2.5納米(nm),而一些高端的光柵尺分辨率可以達(dá)到亞微米級(jí)別,如0.1微米(μm)或更小。 精度:這是測量值與真實(shí)值之間的一致性程度。標(biāo)準(zhǔn)光柵尺的精度通常在±3微米每米(μm/m),但高性能的光柵尺可以達(dá)到±1微米每米,甚至更精細(xì)的±0.5微米或±0.1微米的精度。
例如,奧普光電的封閉型絕對(duì)式光柵尺的精度可以達(dá)到±1微米每米,而分辨率最高為2.5納米。另一些企業(yè)生產(chǎn)的光柵尺精度可達(dá)到±0.5微米以內(nèi),甚至接近±0.1微米的精度水平。 在某些特定應(yīng)用中,如半導(dǎo)體制造、精密加工和航空航天領(lǐng)域,需要極高精度的測量,這時(shí)會(huì)使用特殊型號(hào)的光柵尺,其精度和分辨率將遠(yuǎn)超常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)。 需要注意的是,精度和分辨率是兩個(gè)不同的概念。分辨率關(guān)注的是最小可檢測的變化量,而精度則是測量值與真值的偏差程度。在選擇光柵尺時(shí),應(yīng)該根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場景和精度要求來確定所需的具體規(guī)格。
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